高效空气过滤器作为尘埃粒子进入洁净工作区的最后一道防线,其自身性能及安装质量的优劣直接关系到洁净工作台能否满足要求。高效空气过滤器检漏测试是保证洁净工作台性能的必要措施之一。
高效过滤器扫描检漏测试方法在很多相关标准中都有专门规定,具体测试方法如下:测试过程可采用大气尘或人工多分散气溶胶作为过滤器上游尘源,当发生满足要求的上游尘源后,用激光粒子计数器或光度计在高效过滤器下游侧距过滤器表面20~30mm处,沿整个表面、边框及其框架接缝处扫描,扫描速率为20~30mm/s,扫描行程略有重叠。针对扫描结果,光度计法要求扫描行程内穿透率不超过0.01%,计数器法要求粒子数不超过3粒/L。
直流型洁净工作台在净化气流和外界空气的交界处可因气流的流动、混合产生局部的涡流,形成局部负压,将外部少量污染气流引射至操作区域,有可能发生污染。为了评估这种引射作用的影响,需对这种引射作用的影响进行验证。
具体测试方法:在洁净工作台操作口边缘外侧所毗连的周围环境中,利用大气尘或多分散气溶胶作为污染源,用激光粒子计数器或光度计在操作口边缘内侧巡检扫描,扫描速度在50mm/s以下。扫描结果光度计法要求穿透率不超过0.01%,计数器法要求不超过10粒/L(≥0.5µm)。
洁净工作台截面平均风速(垂直气流平均风速、水平气流平均风速)大小及风速不均匀度对控制操作区洁净度、保护操作对象免受污染具有重要作用。合理的风速大小不仅可以保证操作区的洁净度,还可保证尽量短的自净时间以及操作区抗污染干扰的能力;不均匀的速度场会增加速度的横向脉动性,促进流线间的掺混或产生涡流,存在造成操作区样品交叉污染的风险。
目前《洁净工作台》JG/T292—2010中要求截面风速范围为0.2~0.5m/s。关于风速均匀性评价,不同标准中有不同的评价方法,如美国联邦标准FS209B、日本工业标准《洁净工作台》JISB9922—2001中均规定每个测点应在平均风速的±20%范围内。《洁净工作台》JG/T292—2010中采用风速不均匀度(风速的相对标准偏差)的评价方法,要求风速测点整体不均匀度不超过20%。具体的风速及不均匀度测试方法可参照《洁净工作台》JG/T292—2010。
对于进风口设置在洁净工作台操作人员腿部的情况,为避免操作者腿部产生吹风感,要求进风风速不超过1m/s。







